Мішені для напилення високочистої міді – квадратні (4N-6N)
Мішень для напилення високочистої міді – Заява про процес та забезпечення якості
Наші квадратні мідні мішені для напилення виготовляються відповідно до суворих стандартів, необхідних для надійного напилення тонких плівок у передових процесах нанесення покриттів.
Виробництво відбувається за суворо контрольованим робочим процесом на основі вакууму для підтримки надвисокої чистоти та консистенції матеріалу:
●Вибір сировини: Як вихідний матеріал використовуються лише сертифіковані електролітичні мідні катоди (≥99,99%).
●Вакуумне плавлення: Індукційне плавлення під високим вакуумом або інертною атмосферою мінімізує поглинання кисню та летких домішок.
●Ливарне та рафінування: Контрольоване спрямоване затвердіння дозволяє отримувати злитки з однорідним складом та мінімальною сегрегацією.
●Гаряча обробка: Кування або гаряче пресування досягає майже теоретичної щільності та подрібненої зернистої структури.
●Точна обробка: фрезерування та шліфування на верстатах з ЧПК забезпечують точні квадратні розміри з плоскими, паралельними поверхнями.
●Оздоблення поверхні: Багатоетапне полірування забезпечує дзеркальну поверхню, придатну для використання в чистих приміщеннях.
●Додаткове склеювання: доступне індієве або еластомерне склеювання з молібденовими/мідними опорними пластинами для терморегуляції.
●Фінальне очищення та пакування: Ультразвукове очищення в надчистій воді з подальшим вакуумним запаюванням у двошарові чисті пакети.
Система контролю якості
● Повна відстежуваність від партії необробленого катода до готової мішені
● Сертифікати матеріалів та звіти про випробування додаються до кожної партії
● Зберігання архівних зразків ≥3 років для перевірки третьою стороною (SGS, BV тощо)
● 100% перевірка критичних параметрів:
• Чистота та домішки (аналіз GDMS/ICP-MS; типовий вміст кисню <10 ppm)
• Вимірювання густини (метод Архімеда; ≥99,5%)
• Розмір зерна та мікроструктура (металографічне дослідження)
• Точність розмірів (КВМ; площинність ≤0,05 мм типово)
• Шорсткість поверхні та дефекти (профілометр + візуальний огляд)
● Внутрішні характеристики перевищують вимоги ASTM F68. Типові властивості: теплопровідність >390 Вт/м·K, питомий електричний опір <1,7 мкОм·см, стабільна швидкість розпилення та якість плівки.
● Процеси, сумісні з чистими приміщеннями, та сертифіковане за стандартом ISO 9001:2015 обладнання гарантують, що кожен об'єкт відповідає високим вимогам сучасних застосувань PVD.










